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微加工技术工艺原理与实验 陈军等编著 微加工技术工艺中的光刻 刻蚀 薄膜沉积 氧化和掺杂等工艺 清华大学出版社 正版，
图解入门——半导体制造工艺基础精讲（原书第4版） 佐藤淳 离子注入和热处理工艺 光刻工艺 刻蚀工艺 成膜工艺 机械工业出版社，